Jeol étoffe son catalogue avec un FIB-SEM

Le Japonais a développé le système à faisceau d’ions focalisé et microscope électronique à balayage JIB-PS500i pour une précision plus élevée et un échantillon plus mince pour les microscopes électroniques à transmission (TEM).

En raison de la structure plus fine des matériaux de pointe et de la complexité croissante des procédés, les techniques d’évaluation comme l’observation morphologique et l’analyse d’éléments nécessitent une résolution et une précision plus élevées.

Dans la préparation d’échantillons pour les microscopes électroniques à transmission (TEM) pour le secteur des semi-conducteurs et les domaines des batteries et des matériaux, une précision plus élevée et un échantillon plus mince sont requis.

Le Japonais Jeol vient d’annoncer le lancement de son système FIB-SEM (Faisceau d’ions focalisé – Microscope électronique à balayage) JIB-PS500i pour répondre aux exigences mentionnées précédemment. Ce nouveau système est constitué d’une colonne du faisceau d’ions focalisé, qui permet le traitement avec un faisceau d’ions Ga à courant important, jusqu’à 100 nA, ce qui est particulièrement efficace pour préparer des échantillons transversaux pour une imagerie et une analyse de grande surface.

La colonne du faisceau d’ions focalisé est également réglée à une distance de travail plus courte. Et l’alimentation nouvellement développée a permis d’améliorer nettement la performance de traitement à une faible tension d’accélération.

Autre caractéristique, un nouveau système de super lentille conique est intégré dans la colonne du MEB, améliorant fortement la résolution de l’image à une faible tension d’accélération. Cette imagerie est très utile pour vérifier l’état d’usinage au point final d’un échantillon en lamelle en utilisant le MEB. Le JIB-PS500i adopte par ailleurs une large chambre à échantillon et un nouveau support d’échantillon, accroissant la plage de mouvement du support et permettant ainsi de prendre en charge de grands échantillons.

Par ailleurs, un détecteur STEM nouvellement développé, pouvant être utilisé avec une inclinaison de support de 90°, permet une transition fluide entre la préparation d’échantillon de TEM et l’observation STEM. Une cartouche pouvant basculer sur deux axes et un support de TEM dédié permettent un alignement plus précis, tout en facilitant le transfert d’échantillon entre le TEM et le FIB.

Pour l’interface utilisateur graphique d’exploitation, les utilisateurs retrouvent le SEM center, déjà disponible dans la gamme de MEB haute résolution JSM-IT800 et qui assure une intégration complète de l’analyse par spectroscopie à dispersion d’énergie (EDS).