Le pyromètre répond aux exigences accrues en semi-conducteurs

Advanced Energy fait évoluer ses pyromètres à fibre optique en améliorant leurs performances de mesure.

Sur les marchés des semi-conducteurs et des applications à couche mince, les industriels recherchent, entre autres, des moyens leur permettant d’atteindre des niveaux de contrôle de processus et de fabrication toujours plus élevés. Fort de ce constat et de l’expérience acquise avec sa série Sekidenko OR4000T, l’Américain Advanced Energy vient de dévoiler le successeur de ce dernier, avec le pyromètre à fibre optique Sekidenko 4100T.

Ce nouveau modèle se caractérise par une justesse de mesure « exceptionnelle » de ±1,5 °C in situ, une étendue de température plus large – elle s’étend de +60 à +3 500 °C, selon la longueur d’onde (UV à 2 300 nm) – et une fréquence de lecture maximale de 1 kHz par voie, résume la société.

Grâce à cette vitesse de mesure, les utilisateurs bénéficient d’une meilleure réponse thermique et uniformité, un critère clé dans les applications de traitement thermique rapide, le recuit laser, le dépôt de couches atomiques, etc.

Le Sekidenko 4100T permet d’effectuer d’une à quatre mesures de température en même temps, comme pour son prédécesseur, réduisant ainsi le facteur de forme du système – ses dimensions (H x P x L) sont de 86 x 152 x 218 mm –, le nombre de boîtiers de contrôle et, in fine, les coûts. Signalons enfin qu’Advanced Energy a ajouté les interfaces USB et EtherCAT à son nouveau pyromètre, en plus des ports RS-232, RS-485 et Ethernet déjà présents dans le précédent modèle.