Régulateur de débit massique ultra-mince

Horiba STEC a complété sa série de régulateurs de débit massique ultra-minces avec le lancement du modèle DZ-107. Il prend en charge les applications de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt par couche atomique (ALD), en plus des applications de gravure.

Principales caractéristiques :

• Débit massique maximal : 20 normo l/min
• Débit à pleine échelle près de 7 fois celui des modèles précédents
• Plage de température maximale de fonctionnement désormais jusqu’à +60 °C
• Interface EtherCAT
• Largeur : 10 mm

Fabricant : Horiba

Référence produit : DZ-107