Microscope confocal Raman pour wafers de 300 mm
Le microscope confocal Raman alpha300 Semiconductor Edition d’Oxford Instruments WITec permet de caractériser les wafers jusqu’à 300 mm avec la même précision et la même commodité qu’un échantillon sur une lame de microscope.
Principales caractéristiques :
Platine de balayage avec une plage élargie à 300 x 350 mm- Amortissement actif des vibrations
- Stabilisation de la mise au point pilotée par un profilomètre optique
- Options de serrage des wafers
- Gestionnaire de flux de travail avancé pour rationaliser les mesures
- Ajout d’un logiciel de définition et de séquencement
- Automatisation complète pour la normalisation des procédures de mesure et le fonctionnement à distance
Fabricant : Oxford Instruments WITec
Référence produit : alpha300 Semiconductor Edition
