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Catégorie : NP-ESSAI/MÉTROLOGIE

Système d’inspection des substrats au niveau des panneaux

Le Firefly G3 d’Onto Innovation est un système d’inspection pour le contrôle automatisé des procédés lors de la production en grande volume de substrats au niveau des panneaux basés sur des chiplets IA. Il remplace les multiples outils et opérateurs pour l’examen et la classification des défauts (bulles, particules sous le film) à un stade précoce.

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