Système d’inspection des substrats au niveau des panneaux
Le Firefly G3 d’Onto Innovation est un système d’inspection pour le contrôle automatisé des procédés lors de la production en grande volume de substrats au niveau des panneaux basés sur des chiplets IA. Il remplace les multiples outils et opérateurs pour l’examen et la classification des défauts (bulles, particules sous le film) à un stade précoce.
Principales caractéristiques :
Caméra à balayage linéaire TDI- Led large bande pour fond clair, fond noir et lumière annulaire à angle élevé
- Technologie d’illumination Clearfind
- Sensibilité au défaut jusqu’à 0,7 µm
- Prise en charge des substrats en verre et CCL jusqu’à 650 x 650 mm
- Métrologie 2D intégrée pour le recouvrement, les dimensions critiques et la mesure de la position de la matrice
- Capteurs de métrologie 3D (option) pour mesurer l’épaisseur des films et la hauteur des lignes RDL en métal
- Logiciels TrueADC (classification des défauts en temps réel) et StepFAST (solution d’erreur de placement des matrices fan-out)
Fabricant : Onto Innovation
Référence produit : Firefly G3
