Microscope électronique à balayage à faisceau d’ions focalisé pour semi-conducteurs
Le Crossbeam 550 Samplefab de Zeiss est un microscope électronique à balayage à faisceau d’ions focalisé (FIB-SEM), optimisé pour la préparation automatisée d’échantillons, des échantillons en vrac aux lamelles amincies jusqu’à 100 nm, de microscopie électronique en transmission (MET) dans les laboratoires de semi-conducteurs.
Principales caractéristiques :
MEB : émetteur Schottky (0,6 nm à 15 kV DC, courant de faisceau de 10 pA à 40 nA) et colonne d’électrons Gemini 2- FIB : source à ion métal liquide (LMIS ; 3 nm à 30 kV, 1 pA à 100 nA)
- Détecteurs : In-lens SE, In-lens EsB, SESI, aSTEM (option) et aBSD (option)
- Plateau : 100 mm (X/Y), 50 mm (Z), -4 à +70 °C (température) et 360° (rotation)
- Automatisation, via des recettes, du travail de routine de préparation (broyage en vrac, levage et amincissement à n’importe quel nombre de points cibles sur l’échantillon)
- Création de 10 lamelles, via une seule pointe de sonde, en moins de 8 h
- Rendement d’automatisation supérieur à 90 % pour le traitement des lamelles d’un échantillon en vrac à la grille TEM, sans intervention de l’opérateur
- Nouveau logiciel de contrôle améliorant la stabilité et la facilité d’utilisation, pour novices et experts
Fabricant : Zeiss
Référence produit : Crossbeam 550 Samplefab
