AFM avec interféromètre à lumière blanche
Destiné à la production de semi-conducteurs, le NX-Hybrid WLI de Park Systems est le premier système du marché intégrant en un seul équipement un microscope à force atomique (AFM) à un profilomètre par interférométrie à lumière blanche (WLI).
Principales caractéristiques :
- Basé sur l’AFM NX-Wafer : XY (400 x 300 mm) et Z (25 mm) motorisés
- Épaisseur de l’échantillon : jusqu’à 20 mm
- Module supportant les interférométries en lumière blanche et à décalage de phase (PSI)
- Mode PSI : changeur de filtre motorisé et deux objectifs remplaçables automatiquement par l’objectif motorisé
- Grossissement : 2,5x, 10x, 20x, 50x et 100x (caméra Cmos)
- Champ de vision respectif : 4 500x 3 754 µm à 112 x 93 µm
- Balayage sur de larges zones et métrologie à l’échelle nanométrique
Fabricant : Park Systems
Référence produit : NX-Hybrid WLI
