Interféromètre à lumière blanche multi-pics
Micro-Epsilon propose désormais une série d’interféromètres à lumière blanche « multi-pics ».
Principales caractéristiques :
- interferoMeter IMS5400-DS : étendues de mesure de 2,1 mm (distance), de 0,010 à 1,3 mm (épaisseur)
- interferoMeter IMS5400-TH : 0,035 à 1,4 mm (épaisseur)
- interferoMeter IMS5600-DS : 2,1 mm (distance), de 0,010 à 1,3 mm (épaisseur)
- Résolution inférieure à 1 nm ou 30 pm (IMS5600-DS)
- Linéarité inférieure à ±50 nm (IMS5400-DS), ±100 nm (IMS5400-TH) ou ±10 nm (IMS5600-DS)
- Fréquence d’acquisition réglable : 100 Hz à 6 kHz
- Mesure d’épaisseur de couches multiples (jusqu’à 5 ou 13 ; versions IMS5x00-DS/MP)
- Interface RS-422, Ethernet, Profinet, EtherCAT ou EtherNet/IP
Fabricant : Micro-Epsilon
Références produits : interferoMeter IMS5400-DS, interferoMeter IMS5400-TH et interferoMeter IMS5600-DS
