Le débitmètre et régulateur de débit massique monte en température
Le GF120xHT de Brooks Instrument est le premier modèle de la série GF à pouvoir fonctionner dans une plage de température comprise entre +45 et +150 °C.
Les régulateurs de débit massique sont le composant le plus important des systèmes d’alimentation en gaz utilisés pour produire un circuit intégré, par exemple. Mais les régulateurs thermiques traditionnels sont bien souvent limités en termes de plage de température de fonctionnement, à +50 °C.
Avec le débitmètre et régulateur de débit massique GF120xHT, le premier modèle à haute température de sa série GF, l’Américain Brooks Instrument propose une solution capable de fonctionner dans une plage comprise entre +45 et +150 °C. Ce nouveau débitmètre et régulateur peut délivrer de la vapeur dans la chambre de traitement, même lorsque ce matériau est liquide ou solide à température ambiante.
« Le GF120xHT va ainsi permettre de résoudre les problèmes des clients en fournissant, de manière fiable, précise et sans contamination par des particules, des précurseurs pour les procédés critiques, tels que le dépôt sélectif de couches atomiques, dans la fabrication des semi-conducteurs », explique Dr Mohamed Saleem, CTO d’ITW, la société mère de Brooks Instrument.
Pour parvenir à cette plage de température de fonctionnement étendue, le fabricant a fait en sorte de connecter à distance les composants électroniques au module mécanique. L’électronique reste alors à un endroit plus « froid » que là où se trouve le module mécanique.
Le débitmètre et régulateur de débit GF120xHT bénéficie des caractéristiques de la série GF100, comme une étendue de mesure de 50 normo cm3/min à 50 normo l/min, une justesse de ±0,35 %, entre 2 et 35 %, et ±1 %, au-delà de 35 %, une linéarité de ±0,5 % de la pleine échelle, un temp de réponse inférieur à 1 s, une plage de contrôle de 2 à 100 % (vanne normalement fermée), une stabilité du zéro inférieur à ±0,5 % de la pleine échelle par an, etc.
Pour faciliter l’intégration de son nouveau débitmètre et régulateur de débit dans de nombreuses applications, Brooks Instrument propose différents protocoles de communication (analogique, RS-485, DeviceNet et EtherCAT) pour l’électronique déportée, un rail DIN standard et une variété d’options de montage.
