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Microscope électronique à balayage à faisceau d’ions focalisé pour semi-conducteurs

Microscope électronique à balayage à faisceau d’ions focalisé pour semi-conducteurs

Le Crossbeam 550 Samplefab de Zeiss est un microscope électronique à balayage à faisceau d’ions focalisé (FIB-SEM), optimisé pour la préparation automatisée d’échantillons, des échantillons en vrac aux lamelles amincies jusqu’à 100 nm, de microscopie électronique en transmission (MET) dans les laboratoires de semi-conducteurs.

Principales caractéristiques :

  • MEB : émetteur Schottky (0,6 nm à 15 kV DC, courant de faisceau de 10 pA à 40 nA) et colonne d’électrons Gemini 2
  • FIB : source à ion métal liquide (LMIS ; 3 nm à 30 kV, 1 pA à 100 nA)
  • Détecteurs : In-lens SE, In-lens EsB, SESI, aSTEM (option) et aBSD (option)
  • Plateau : 100 mm (X/Y), 50 mm (Z), -4 à +70 °C (température) et 360° (rotation)
  • Automatisation, via des recettes, du travail de routine de préparation (broyage en vrac, levage et amincissement à n’importe quel nombre de points cibles sur l’échantillon)
  • Création de 10 lamelles, via une seule pointe de sonde, en moins de 8 h
  • Rendement d’automatisation supérieur à 90 % pour le traitement des lamelles d’un échantillon en vrac à la grille TEM, sans intervention de l’opérateur
  • Nouveau logiciel de contrôle améliorant la stabilité et la facilité d’utilisation, pour novices et experts


Fabricant :
 Zeiss

Référence produit : Crossbeam 550 Samplefab

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