Park Systems dévoile un système de spectroscopie IR à l’échelle nanométrique
Ce système intègre la spectroscopie infrarouge (IR) de la microscopie à force photo-induite (PiFM) sur une plate-forme AFM, pour l’analyse de wafers de semi-conducteurs allant jusqu’à 300 mm.
Le Sud-coréen Park Systems vient de dévoiler le Park NX-IR R300, un système intégrant, en un seul appareil, la spectroscopie infrarouge (IR) de la microscopie à force photo-induite (PiFM) sur la plate-forme AFM (microscopie à force atomique) Park NX20, pour l’analyse de wafers de semi-conducteurs allant jusqu’à 300 mm.
La spectroscopie PiFM utilise une technique sans contact qui propose un sondage spectroscopique sans dommage, une résolution et une précision maximales tout au long des balayages. La méthode permet par exemple une identification chimique avec une résolution spatiale de 10 nm, et fournit des informations spectroscopiques à différentes profondeurs.
Le nouveau système fournit ainsi des informations sur les propriétés chimiques, des données mécaniques et topographiques pour la recherche sur les semi-conducteurs, l’analyse des défaillances et la caractérisation des défauts à une résolution nanométrique jamais atteinte jusque-là.
« Le Park NX-IR R300 est une avancée majeure dans notre portefeuille de solutions de nanométrologie, affirme Sang-il Park, CEO de Park Systems. Nous sommes convaincus que le nouveau système deviendra un outil essentiel pour les clients industriels qui ont besoin d’analyser la composition chimique de leurs matériaux au plus haut niveau de précision. »
