Pyromètre à fibre optique multi-canaux
Le Sekidenko 4100T est une version améliorée du pyromètre pour matériaux spéciaux d’Advanced Energy Industries, destiné aux applications de wafers de semi-conducteurs de prochaine génération. Ce thermomètre à fibre optique assure une absence de contact avec le wafer, évitant le risque d’endommagement et de contamination, contrairement aux solutions basées sur des thermocouples et autres technologies à contact, ainsi qu’une meilleure précision que celle des autres approches sans contact (outils de simulation et d’estimation).
Principales caractéristiques :
1 à 4 canaux configurables indépendamment- Fréquence d’acquisition : 0,1 Hz à 1 kHz
- Plage de longueurs d’onde : UV à 2 300 nm
- Étendue de mesure : +60 à +3 000 °C
- Justesse : ±1,5 °C
- Compatible avec les capteurs optiques à lentille et les capteurs à tube optique en saphir
- Écran couleur tactile 4,3 pouces
- Sorties 0-10 V et 4-20 mA, interfaces RS-232/485, USB, Ethernet et EtherCAT
Fabricant : Advanced Energy
Référence produit : Sekidenko 4100T
