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Étiquette : inspection

Système d’inspection des surfaces et des faces arrière des wafers sans motif

Hitachi High-Tech propose désormais le LS9300AD, un système d’inspection des surfaces et des faces arrière des wafers sans motif (avant la formation du motif du circuit) pour la recherche de particules et de défauts. Il s’agit d’effectuer l’assurance qualité lors de l’expédition, l’acceptation des wafers et le contrôle des particules dans divers procédés de fabrication d’appareils.

Système d’inspection des substrats au niveau des panneaux

Le Firefly G3 d’Onto Innovation est un système d’inspection pour le contrôle automatisé des procédés lors de la production en grande volume de substrats au niveau des panneaux basés sur des chiplets IA. Il remplace les multiples outils et opérateurs pour l’examen et la classification des défauts (bulles, particules sous le film) à un stade précoce.

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