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Étiquette : surface

Système d’inspection des surfaces et des faces arrière des wafers sans motif

Hitachi High-Tech propose désormais le LS9300AD, un système d’inspection des surfaces et des faces arrière des wafers sans motif (avant la formation du motif du circuit) pour la recherche de particules et de défauts. Il s’agit d’effectuer l’assurance qualité lors de l’expédition, l’acceptation des wafers et le contrôle des particules dans divers procédés de fabrication d’appareils.

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