MEB pour la visualisation des défauts de photomasques

Advantest a dévoilé le le microscope électronique à balayage pour la visualisation des défauts (DR-SEM) E5620 destiné à l’examen et la classification des défauts de très petites tailles sur les photomasques actuels et les photomasques UV extrême de prochaine génération.

Principales caractéristiques :

• Matériaux supportés : photomasques de taille 6025
• Résolution spatiale : 2 nm
• Résolution d’énergie EDS (option) : 127 eV
• Capture d’image très stable et entièrement automatique
• Compatible avec les systèmes d’inspection de masques
• Option d’analyse de la composition élémentaire
• Option d’analyse des électrons diffusés

Fabricant : Advantest

Référence produit : E5620