Convertisseur de température pour procédés de semi-conducteurs

Advanced Energy Industries a élargi sa plate-forme thermométrique à fibres optiques à base de phosphore Luxtron avec le convertisseur Luxtron M-1100 pour les procédés de dépôt et de gravure de semi-conducteurs par plasma de prochaine génération.

Principales caractéristiques :

• Jusqu’à 5 canaux de mesure
• Étendue de mesure : -200 à +450 °C
• Justesse : ±0,5 °C
• Stabilité (bruit) inférieure à 0,05 °C
• Algorithme de photodétecteur propriétaire
• Sorties EtherCAT, 4-20 mA ou 0-10 V et port RS-232
• Plage de température de fonctionnement : +5 à +60 °C
• Montage mural sur le côté du système à surveiller pour une mise en œuvre simplifiée

Fabricant : Advanced Energy Industries

Référence produit : Luxtron M-1100