Échantillons d’étalonnage pour AFM et MEB

La gamme NANOstandard de Park Systems fournit des échantillons standards d’étalonnage pour les microscopes à force atomique (AFM) et les microscopes électroniques à balayage (MEB), assurant des mesures et des analyses précises.

Principales caractéristiques :

• Équivalents aux produits traçables NIST pour mesurer, notamment, les dimensions critiques (CD) des motifs de semi-conducteurs
• Caractériseur de pointe (AFMTC) : échantillon d’étalonnage pour évaluer le rayon et l’angle du demi-cône d’une pointe d’AFM
• Largeurs de ligne : 10 à 50 nm
• Étalonnage à fort grossissement (HMC) constitué de silicium polycristallin
• 5 valeurs certifiées pour des largeurs de ligne allant de 20 à 80 nm
• 5 valeurs certifiées pour des valeurs de pas allant de 100 à 900 nm
• Fabriqués en collaboration avec Park Systems par Kims Reference
• Traçables à l’Institut coréen de recherche sur les normes et les sciences (Kriss) pour la norme ISO 17034:2016 et par la constante de réseau atomique dans le substrat de silicium via microscopie électronique à transmission à haute résolution (HR-TEM)

Fabricant : Park Systems

Référence produit : NANOstandard